無極放電燈通常明顯更亮；在有些情況下，其靈敏度優于對應的空心陰極燈。特別適用于某些揮發性元素。對于因空心陰極發射較弱而存在大量噪音的分析而言，可提供更好的準確度和更低的檢出限。由密封在充滿惰性氣體的一個石英燈泡內的某元素或該元素的鹽組成。當施加一個能量充足的射頻場時，惰性氣體被電離，其所耦合的能量蒸發出該元素并在石英燈泡內進行原子激發，從而發射出特征性光譜。